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金剛石砂輪廠家介紹藍寶石行業加工

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金剛石砂輪廠家介紹藍寶石行業加工

發布日期:2022-09-17 作者: 點擊:

金剛石砂輪廠家介紹藍寶石行業加工

1、藍寶石加工流程

1.1襯底藍寶石片制程

從藍寶石晶錠到較后的襯底藍寶石片,主要包括以下步驟:長晶→ 掏棒→ 頭尾截斷→滾磨→晶棒定向→切片→倒角磨邊→粗精研磨→CMP拋光。每較個步驟均需要配備不同的金剛石工具來完成,主要工具有鉆頭、砂輪、線鋸等。

長晶:利用長晶爐生長尺寸大且高品質的單晶藍寶石晶體;

掏棒:使用藍寶石鉆頭(高精度套料鉆頭)從藍寶石晶體中掏出藍寶石晶棒;

滾磨:使用金剛石砂輪(樹脂結合劑或金屬結合劑)進行晶棒的結晶方向平研、外徑研磨,得到的外圓尺寸精度;(19.現在粗磨較般是金屬砂輪、精磨是陶瓷砂輪,也有企業用樹脂砂輪粗精磨)

定向:在切片機上準確定位藍寶石晶棒的位置,便于準確切片加工;

切片:使用金剛石線鋸將藍寶石晶棒切成薄薄的晶片;

倒角磨邊:采用金屬結合劑金剛石砂輪將晶片邊緣修整成圓弧狀,改善薄片邊緣的機械強度;

研磨:去除切片時造成的晶片切割損傷層及改善晶片的平面度。分粗研磨和精研磨,涉及的磨料磨具產品主要有金剛石磨盤、金剛石研磨液、金剛石背面減薄砂輪等;

拋光:改善晶片粗糙度,使其表面達到外延片磊晶更精度,多使用CMP拋光液。

1.2 封裝制程

磊晶及封裝制程主要包括以下步驟:襯底片→外延片→蒸鍍刻蝕→熱處理→背面減薄→研磨拋光→劃片測試→固晶→打線封裝→切割→測試。主要涉及的磨料磨具產品為金剛石超薄劃片刀、金剛石背面減薄砂輪、研磨液、拋光液等。

2、部分磨料磨具產品介紹

2.1 金剛石砂輪

金剛石砂輪在藍寶石、硅片等硬脆材料加工過程中的應用較為廣泛,從晶棒的處理到晶片的粗加工進而到精加工等步驟,均要用到不同種類的金剛石砂輪。圖2為4種代表砂輪,分別是晶棒滾圓砂輪(圖3a)、平面研磨砂輪(圖3b)、減薄砂輪(圖3c)以及拋光砂輪(圖3d)等,金剛石粒度從100#到8000#均有涉及,胎體材料包括金屬結合劑、樹脂結合劑和陶瓷結合劑。


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